红外分光光度计的性能指标有：分辨率、波数的准确度与重现性、透光率的准确度与重现性、检测器的满度能量输出及杂散光等。其中分辨率与波数的准确度与重现性是主要指标。
　　分辨率或称分辨本领：红外分光光度计的分辨率，多采用在某波数处恰能分开两个吸收峰的波数差（△δ）为指标。
　　通常，也可采用一些简便的表示法：⑴用测某一样品在某一波数区间所能分辨出的峰数。⑵用一定波数处相邻峰的分离深度表示。常用聚苯乙烯薄膜为试样，正常的仪器在3100～2800cm区间应能分出七个碳-氢伸缩振动峰（五个不饱和碳-氢伸缩峰，两个饱和碳-氢伸缩振动峰）。也有的仪器用2815cm与2924cm的分离深度衡量，一般应大于15％。
　　波数准确度与重复性：仪器测定所得波数与文献值比较之差称为波数准确度，多次重复测量（3～5次）同一样品，所得同一吸收峰波数的最大值与最小值之差称为波数重复性。在4000～400cm之间可用聚苯乙烯薄膜检查。
　　·聚苯乙烯薄膜的红外吸收光谱。